一台占地约5平方米极紫外光显微镜集成极紫外光源、光束滤波、能量检测、衍射成像、光谱诊断等模块的设备。它的名字是桌面式高分辨极紫外光显微镜。
　　探索微观世界，是驱动人类科技迭代进阶的核心力量之一。从芯片里的纳米电路，到细胞内的病毒颗粒，看得越清，才能了解越深。
　　受限于衍射极限，传统光学显微镜看纳米级的东西，就像用粗毛笔描绣花针，细节糊成一团。电子显微镜虽能看清原子，但只能看样品表面，还需在真空中把样品处理得“面目全非”。X射线显微镜能看内部，但想拍出高清图像，大多得靠同步辐射光源——那是占地几个足球场、耗资数十亿元的国家大科学装置。而且这种装置在国内数量极少，难以满足广大科研人员的使用需求。
　　有没有一种技术，既能看清纳米尺度的内部结构，又不需要用到大科学装置，在普通实验室里就可以“即插即用”？历时数年，桌面式高分辨极紫外光显微镜横空出世。
　　显微镜采用了一种名为“叠层衍射成像”的无透镜计算成像技术。“它不需要任何成像透镜，而是用一束极紫外光照射样品，记录下光穿过样品后形成的衍射图样，再通过相位恢复算法将这些衍射图样还原成样品的清晰图像。叠层衍射成像的优势在于，它绕过了极紫外透镜制造的难题。传统显微镜的镜片再好也有像差限制，而它直接用算法成像，分辨率只取决于光的波长和探测数值孔径。
　　此外，桌面式高分辨极紫外光显微镜获取更丰富的信息。除了样品的吸收图像，它还能得到相位信息，这对于微纳样品的内部检测意义重大。例如对于极紫外掩模版内部相位型缺陷的检测，这类缺陷虽然对吸收影响不大，但会改变光相位，从而影响成像质量，而相位信息可以很好地揭示这类微纳结构。
除了上述两个优点，显微镜的结构简单。其光路设计既能透射成像也能反射成像，非常适合做成桌面级设备。这套系统，让原本需要庞大装置的尖端显微技术，走进了普通实验室。（改编自 科技日报）

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